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【國內(nèi)】上海光機(jī)所七項(xiàng)光科技項(xiàng)目近期通過驗(yàn)收

摘要: 我所承擔(dān)的上海市光科技項(xiàng)目,近期在上海市科委組織下陸續(xù)進(jìn)行了結(jié)題驗(yàn)收,這些項(xiàng)目分別是: 1.精密光電
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    我所承擔(dān)的上海市光科技項(xiàng)目,近期在上海市科委組織下陸續(xù)進(jìn)行了結(jié)題驗(yàn)收,這些項(xiàng)目分別是:
    1.精密光電測控研發(fā)中心程兆谷研究員負(fù)責(zé)的“硅片缺陷自動檢測儀研制”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在傾斜入射激光掃描散射檢測技術(shù),高效率大數(shù)值孔徑散射光收集和光電檢測技術(shù),提高探測靈敏度和獲得高的新噪比關(guān)鍵技術(shù)等方面取得突破。研制成功了“硅片缺陷自動檢測儀”樣機(jī)。該樣機(jī)的研制成功對于改變我國大規(guī)模集成電路專用檢測設(shè)備長期依賴進(jìn)口局面,研制和開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)化設(shè)備取得重要進(jìn)展。
    2.光學(xué)薄膜技術(shù)研發(fā)中心張偉麗研究員負(fù)責(zé)的“全固態(tài)激光器薄膜的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在玻璃基底上成功的鍍制出符合課題指標(biāo)要求的薄膜,在研發(fā)中心已有3臺專用于全固態(tài)激光器薄膜生產(chǎn)的專用鍍膜機(jī)群。
    3.信息光學(xué)開放研究實(shí)驗(yàn)室瞿榮輝研究員負(fù)責(zé)的“大功率半導(dǎo)體泵浦激光器封裝技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組建成了大功率半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)平臺,在大功率半導(dǎo)體激光器封裝以及大功率測量等方面取得了成果,成功研制出了大功率半導(dǎo)體激光器BaR條、疊層組件、脈沖大功率半導(dǎo)體激光器等。
    4.激光與光電子功能材料研發(fā)中心姜雄偉研究員負(fù)責(zé)的“超短脈沖激光誘導(dǎo)材料結(jié)構(gòu)顯微改性的研究和應(yīng)用探索”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組研究了飛秒激光的各項(xiàng)參數(shù)、激光的掃描速度,以及不同倍率的聚焦鏡頭對不同形狀和尺寸微孔的激光加工特性的影響,并通過多次掃描的方法制成了微孔陣列。
    5.高密度光存儲技術(shù)實(shí)驗(yàn)室耿永友研究員負(fù)責(zé)的“可錄型高密度數(shù)字多用光盤(DVD-R)存儲材料和盤片產(chǎn)業(yè)化技術(shù)開發(fā)”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在項(xiàng)目實(shí)施過程中建立了高密度可錄光盤材料研發(fā)中心(與上海飛凱光電材料有限公司共建),形成DVD-R染料研發(fā)中試線和高密度可錄光盤(DVD-R)盤片研發(fā)平臺。
    6.先進(jìn)激光技術(shù)應(yīng)用系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室向世清副研究員負(fù)責(zé)的“基于光纖光柵的新型溫度/應(yīng)力傳感器”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組研制出了應(yīng)力和溫度兩種光線光柵傳感器樣機(jī),達(dá)到了系統(tǒng)功能、應(yīng)變、溫度傳感指標(biāo),探索了該類傳感器更符合實(shí)際的設(shè)計(jì)方式和應(yīng)用規(guī)律,完成了多用途傳感元件的傳感機(jī)理、方法、設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和產(chǎn)業(yè)化方案的研究。樣機(jī)已具備產(chǎn)業(yè)化的前期基礎(chǔ)。
    7.強(qiáng)場激光物理國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高鴻奕副研究員負(fù)責(zé)的“高精度大口徑光學(xué)波面測量技術(shù)”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在抗環(huán)境擾動方面,設(shè)計(jì)并建立了一個(gè)以二級免充氣抗震平臺為主的測量環(huán)境,建立了一套高精度的光學(xué)波面測量裝置。
    以上項(xiàng)目,均已圓滿完成計(jì)劃任務(wù)書規(guī)定的研究成果和考核指標(biāo),經(jīng)驗(yàn)收委員會認(rèn)定,一致同意通過驗(yàn)收。(科研管理處供稿)</FONT></DIV>
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