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【國內(nèi)】上海光機所七項光科技項目近期通過驗收
訊石光通訊網(wǎng) 發(fā)布時間:2006/3/21 9:31:16 編者:ICCSZ
摘要：
我所承擔(dān)的上海市光科技項目，近期在上海市科委組織下陸續(xù)進行了結(jié)題驗收，這些項目分別是： 1．精密光電
//210.72.9.5:8081/info_www/news/detailnewsb.asp?infoNo=5744"></A></FONT> </DIV>
我所承擔(dān)的上海市光科技項目，近期在上海市科委組織下陸續(xù)進行了結(jié)題驗收，這些項目分別是：
1．精密光電測控研發(fā)中心程兆谷研究員負(fù)責(zé)的“硅片缺陷自動檢測儀研制”項目。該項目組在傾斜入射激光掃描散射檢測技術(shù)，高效率大數(shù)值孔徑散射光收集和光電檢測技術(shù)，提高探測靈敏度和獲得高的新噪比關(guān)鍵技術(shù)等方面取得突破。研制成功了“硅片缺陷自動檢測儀”樣機。該樣機的研制成功對于改變我國大規(guī)模集成電路專用檢測設(shè)備長期依賴進口局面，研制和開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)化設(shè)備取得重要進展。
2．光學(xué)薄膜技術(shù)研發(fā)中心張偉麗研究員負(fù)責(zé)的“全固態(tài)激光器薄膜的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項目。該項目組在玻璃基底上成功的鍍制出符合課題指標(biāo)要求的薄膜，在研發(fā)中心已有3臺專用于全固態(tài)激光器薄膜生產(chǎn)的專用鍍膜機群。
3．信息光學(xué)開放研究實驗室瞿榮輝研究員負(fù)責(zé)的“大功率半導(dǎo)體泵浦激光器封裝技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化”項目。該項目組建成了大功率半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)平臺，在大功率半導(dǎo)體激光器封裝以及大功率測量等方面取得了成果，成功研制出了大功率半導(dǎo)體激光器BaR條、疊層組件、脈沖大功率半導(dǎo)體激光器等。
4．激光與光電子功能材料研發(fā)中心姜雄偉研究員負(fù)責(zé)的“超短脈沖激光誘導(dǎo)材料結(jié)構(gòu)顯微改性的研究和應(yīng)用探索”項目。該項目組研究了飛秒激光的各項參數(shù)、激光的掃描速度，以及不同倍率的聚焦鏡頭對不同形狀和尺寸微孔的激光加工特性的影響，并通過多次掃描的方法制成了微孔陣列。
5．高密度光存儲技術(shù)實驗室耿永友研究員負(fù)責(zé)的“可錄型高密度數(shù)字多用光盤（DVD-R）存儲材料和盤片產(chǎn)業(yè)化技術(shù)開發(fā)”項目。該項目組在項目實施過程中建立了高密度可錄光盤材料研發(fā)中心（與上海飛凱光電材料有限公司共建），形成DVD－R染料研發(fā)中試線和高密度可錄光盤（DVD－R）盤片研發(fā)平臺。
6．先進激光技術(shù)應(yīng)用系統(tǒng)實驗室向世清副研究員負(fù)責(zé)的“基于光纖光柵的新型溫度/應(yīng)力傳感器”項目。該項目組研制出了應(yīng)力和溫度兩種光線光柵傳感器樣機，達到了系統(tǒng)功能、應(yīng)變、溫度傳感指標(biāo)，探索了該類傳感器更符合實際的設(shè)計方式和應(yīng)用規(guī)律，完成了多用途傳感元件的傳感機理、方法、設(shè)計結(jié)構(gòu)和產(chǎn)業(yè)化方案的研究。樣機已具備產(chǎn)業(yè)化的前期基礎(chǔ)。
7．強場激光物理國家重點實驗室高鴻奕副研究員負(fù)責(zé)的“高精度大口徑光學(xué)波面測量技術(shù)”項目。該項目組在抗環(huán)境擾動方面，設(shè)計并建立了一個以二級免充氣抗震平臺為主的測量環(huán)境，建立了一套高精度的光學(xué)波面測量裝置。
以上項目，均已圓滿完成計劃任務(wù)書規(guī)定的研究成果和考核指標(biāo)，經(jīng)驗收委員會認(rèn)定，一致同意通過驗收。（科研管理處供稿）</FONT></DIV>
1．精密光電測控研發(fā)中心程兆谷研究員負(fù)責(zé)的“硅片缺陷自動檢測儀研制”項目。該項目組在傾斜入射激光掃描散射檢測技術(shù)，高效率大數(shù)值孔徑散射光收集和光電檢測技術(shù)，提高探測靈敏度和獲得高的新噪比關(guān)鍵技術(shù)等方面取得突破。研制成功了“硅片缺陷自動檢測儀”樣機。該樣機的研制成功對于改變我國大規(guī)模集成電路專用檢測設(shè)備長期依賴進口局面，研制和開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)化設(shè)備取得重要進展。
2．光學(xué)薄膜技術(shù)研發(fā)中心張偉麗研究員負(fù)責(zé)的“全固態(tài)激光器薄膜的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項目。該項目組在玻璃基底上成功的鍍制出符合課題指標(biāo)要求的薄膜，在研發(fā)中心已有3臺專用于全固態(tài)激光器薄膜生產(chǎn)的專用鍍膜機群。
3．信息光學(xué)開放研究實驗室瞿榮輝研究員負(fù)責(zé)的“大功率半導(dǎo)體泵浦激光器封裝技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化”項目。該項目組建成了大功率半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)平臺，在大功率半導(dǎo)體激光器封裝以及大功率測量等方面取得了成果，成功研制出了大功率半導(dǎo)體激光器BaR條、疊層組件、脈沖大功率半導(dǎo)體激光器等。
4．激光與光電子功能材料研發(fā)中心姜雄偉研究員負(fù)責(zé)的“超短脈沖激光誘導(dǎo)材料結(jié)構(gòu)顯微改性的研究和應(yīng)用探索”項目。該項目組研究了飛秒激光的各項參數(shù)、激光的掃描速度，以及不同倍率的聚焦鏡頭對不同形狀和尺寸微孔的激光加工特性的影響，并通過多次掃描的方法制成了微孔陣列。
5．高密度光存儲技術(shù)實驗室耿永友研究員負(fù)責(zé)的“可錄型高密度數(shù)字多用光盤（DVD-R）存儲材料和盤片產(chǎn)業(yè)化技術(shù)開發(fā)”項目。該項目組在項目實施過程中建立了高密度可錄光盤材料研發(fā)中心（與上海飛凱光電材料有限公司共建），形成DVD－R染料研發(fā)中試線和高密度可錄光盤（DVD－R）盤片研發(fā)平臺。
6．先進激光技術(shù)應(yīng)用系統(tǒng)實驗室向世清副研究員負(fù)責(zé)的“基于光纖光柵的新型溫度/應(yīng)力傳感器”項目。該項目組研制出了應(yīng)力和溫度兩種光線光柵傳感器樣機，達到了系統(tǒng)功能、應(yīng)變、溫度傳感指標(biāo)，探索了該類傳感器更符合實際的設(shè)計方式和應(yīng)用規(guī)律，完成了多用途傳感元件的傳感機理、方法、設(shè)計結(jié)構(gòu)和產(chǎn)業(yè)化方案的研究。樣機已具備產(chǎn)業(yè)化的前期基礎(chǔ)。
7．強場激光物理國家重點實驗室高鴻奕副研究員負(fù)責(zé)的“高精度大口徑光學(xué)波面測量技術(shù)”項目。該項目組在抗環(huán)境擾動方面，設(shè)計并建立了一個以二級免充氣抗震平臺為主的測量環(huán)境，建立了一套高精度的光學(xué)波面測量裝置。
以上項目，均已圓滿完成計劃任務(wù)書規(guī)定的研究成果和考核指標(biāo)，經(jīng)驗收委員會認(rèn)定，一致同意通過驗收。（科研管理處供稿）</FONT></DIV>
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