南智光電薄膜鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)線正式啟動

  4月11日，江蘇南京南智先進(jìn)光電集成技術(shù)研究院（以下簡稱“南智光電”）鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)線啟動儀式在新區(qū)舉行。

  該項(xiàng)目配備3.5億元規(guī)模設(shè)備、5000m2超凈間，覆蓋了整個產(chǎn)業(yè)鏈的核心工藝，月產(chǎn)能一千片晶圓。本次啟用的產(chǎn)線具備了光刻、刻蝕、鍍膜、研拋、濕法等系列核心技術(shù)工藝，這意味著國內(nèi)薄膜鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)業(yè)化取得重要進(jìn)展。

  據(jù)了解，2018年，在南京大學(xué)和南京江北新區(qū)支持下，現(xiàn)中國科學(xué)院院士、江蘇省光電技術(shù)創(chuàng)新中心主任祝世寧帶領(lǐng)團(tuán)隊在新區(qū)產(chǎn)業(yè)技術(shù)研創(chuàng)園落地南智光電，并負(fù)責(zé)建設(shè)運(yùn)營光電公共技術(shù)平臺，瞄準(zhǔn)下一代光電芯片技術(shù)在基礎(chǔ)材料、器件工藝等方面的需求，開展研發(fā)工作。

  今年初，南智光電啟動平臺二期建設(shè)，目前二期平臺已經(jīng)具備一定量產(chǎn)能力，月前才剛剛下線一批8英寸生物基因檢測芯片，相關(guān)性能指標(biāo)全部符合客戶定制要求。祝世寧表示，未來以鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)線為基礎(chǔ)，南智光電將能夠面向國內(nèi)外光電企業(yè)提供芯片研發(fā)及流片支持。