三星首次引進(jìn)本土生產(chǎn)光刻膠 日本稱霸該市場(chǎng)

  ICC訊  據(jù)報(bào)道，三星電子首次引入東進(jìn)世美肯半導(dǎo)體的光刻膠進(jìn)入其量產(chǎn)線，這也是三星進(jìn)行光刻膠本土量產(chǎn)的首次嘗試。不過考慮到三星與海外光刻膠供應(yīng)商的關(guān)系，目前具體產(chǎn)量尚不清楚，且三星是否會(huì)額外引進(jìn)其他品種的光刻膠也并沒有得到回應(yīng)。

  報(bào)道稱，三星電子已將韓國公司開發(fā)的用于高科技工藝的極紫外光刻膠(PR)引入其大規(guī)模生產(chǎn)線。2019 年 7 月，日本方面宣布限制向韓國出口包括含氟聚酰亞胺、光刻膠以及高純度氟化氫在內(nèi)的三項(xiàng)重要半導(dǎo)體及 OLED 面板原材料，經(jīng)過三年的努力，韓國實(shí)現(xiàn)了光刻膠本地化生產(chǎn)。

  三星電子被發(fā)現(xiàn)在他們的一條半導(dǎo)體工藝(層)線上使用了東進(jìn)世美肯(Dongjin Semichem)的光刻膠，該光刻膠去年通過了三星電子的可靠性測(cè)試，不到一年就被應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)線。一條工藝線只是三星電子整個(gè)流程中非常小的一部分，但由于這是一個(gè)此前完全依賴進(jìn)口的產(chǎn)品，其具有特殊的意義。以前，韓國 100% 依賴從日本和其它國家進(jìn)口光刻膠。

  由于三星將這一產(chǎn)品用于實(shí)際的半導(dǎo)體生產(chǎn)，東進(jìn)世美肯成為第一家將光刻膠本地化并達(dá)到大規(guī)模生產(chǎn)水平的公司。永昌化學(xué)和 SK 材料性能也在開發(fā)光刻膠，但它們還沒有達(dá)到可靠性驗(yàn)證的水平。

  光刻膠，是指經(jīng)過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X 射線等光照或輻射后，溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻薄膜材料，是光刻工藝中的關(guān)鍵材料，主要應(yīng)用于積體電路和分立器件的細(xì)微圖形加工。

  IT之家了解到，從整體業(yè)態(tài)來看，全球光刻膠市場(chǎng)高度集中，日美把控著絕大部分市場(chǎng)份額。日本的 JSR、東京應(yīng)化、信越化學(xué)及富士膠片四家企業(yè)占據(jù)了全球 70%以上的市場(chǎng)份額，壟斷地位穩(wěn)固。