北京中科院半導(dǎo)體研究所利用現(xiàn)有的Thomas Swan MOCVD設(shè)備生長制作出了世界領(lǐng)先的近紫外波長的半導(dǎo)體激光器。
中科院半導(dǎo)體所在2年前購進安裝并調(diào)試出了此套設(shè)備,該套設(shè)備主要用于GaN器件的生長研究。經(jīng)過2年多時間的不斷試驗和制作,在集成光電子國家重點實驗室楊輝教授的帶領(lǐng)和陳良惠教授帶領(lǐng)的另外一個組的配合下,他們成功開發(fā)了國內(nèi)第一個近紫外光的半導(dǎo)體激光器。這種激光器采用5周期InGaN/GaN 多量子阱結(jié)構(gòu)作為有源層,AlGaN/GaN超晶格作為包層,光波長為410nm。
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