美國(guó)團(tuán)隊(duì)研發(fā)首個(gè)電噴激光器 為硅上集成激光器再邁出一步

  美國(guó)阿肯色大學(xué)電子工程教授Shui-Qing“Fisher”Yu領(lǐng)導(dǎo)的材料科學(xué)研究人員展示了第一個(gè)用鍺錫制造的電注入激光器。這種二極管激光器可以更低成本提高微處理速度和效率。研究成果發(fā)表在光學(xué)學(xué)會(huì)雜志《Optica》上。

電注入鍺錫激光器及其功率輸出與電流和光譜特性示意圖

  鍺錫合金是一種很有前途的半導(dǎo)體材料，可以很容易地集成到電子電路中，如計(jì)算機(jī)芯片和傳感器中的電路。這種材料可以開發(fā)出利用光進(jìn)行信息傳輸和傳感的低成本、輕質(zhì)量、緊湊和低功耗的電子元器件。

  Yu多年來(lái)一直在研究鍺錫，其實(shí)驗(yàn)室的研究人員已經(jīng)證明了這種材料作為一種強(qiáng)大半導(dǎo)體合金的功效。在報(bào)道了第一代“光學(xué)泵浦”激光器的制造后，即材料被注入了光，Yu和其實(shí)驗(yàn)室的研究人員持續(xù)推進(jìn)該材料的研究。

Fisher Yu

  鍺錫激光二極管通過(guò)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的化學(xué)氣相沉積(CVD)反應(yīng)器生長(zhǎng)在硅基底上。從下到上生長(zhǎng)了五個(gè)外延層--鍺(Ge)緩沖層、鍺錫(GeSn)緩沖層、鍺錫(GeSn)有源層、硅鍺錫帽和硅鍺錫歐姆接觸層。所有需要的摻雜生長(zhǎng)都是通過(guò)引入相應(yīng)的摻雜氣體來(lái)完成的。在測(cè)試中，該激光器在高達(dá)100開爾文的脈沖條件下工作。

(a)激光器橫截面示意圖;(b)基本TE模式的帶狀結(jié)構(gòu)和profile計(jì)算

  Yu說(shuō)：“我們的結(jié)果是基于IV族激光器的重大進(jìn)步，可作為在硅上集成激光器的一條有前景路線，也是朝著顯著改善電子器件電路邁出的重要一步?！?

  包括論文的第一作者-美國(guó)阿肯色大學(xué)微光電學(xué)專業(yè)博士生Yiyin Zhou，以及亞利桑那州立大學(xué)、馬薩諸塞大學(xué)波士頓分校、新罕布什爾州的達(dá)特茅斯學(xué)院和賓夕法尼亞州的威爾克斯大學(xué)、阿肯色州的半導(dǎo)體設(shè)備制造商Arktonics。

  2020年3月底，德國(guó)尤里希研究中心聯(lián)合法國(guó)納米科學(xué)和納米技術(shù)中心(C2N)、意法半導(dǎo)體(ST)和CEA-Leti的研究人員共同研發(fā)出了由鍺和錫制成的可兼容半導(dǎo)體激光器，效率可與傳統(tǒng)硅(Si)上砷化鎵(GaAs)半導(dǎo)體激光器相媲美，向直接將激光器集成到硅上又近了一步。