ICC訊 據(jù)韓媒KoreaHerald報(bào)道,韓國(guó)最大半導(dǎo)體設(shè)備制造商、三星供應(yīng)商Semes的兩名前雇員,涉嫌參與向一家中國(guó)公司出售關(guān)鍵的晶圓清洗機(jī)而被起訴!
據(jù)悉,被倒賣的設(shè)備是來(lái)自Semes的尖端晶圓清洗機(jī)。
韓國(guó)檢方表示,Semes的2名前員工參與向一家未公開(kāi)的中國(guó)實(shí)體企業(yè)出售關(guān)鍵的晶圓清洗機(jī),另外還有2名Semes供貨商員工也涉案,他們都被檢察官以違反《防止不正當(dāng)競(jìng)爭(zhēng)和商業(yè)秘密保護(hù)法》的罪名起訴。
據(jù)韓媒報(bào)導(dǎo),被指控技術(shù)盜竊的人共獲得大約800億韓元的技術(shù)竊密回饋。地方檢察廳發(fā)言人表示,完成調(diào)查還需要幾周時(shí)間。
這些機(jī)器被認(rèn)為是三星尖端半導(dǎo)體芯片技術(shù)的關(guān)鍵。在芯片制造流程中,使用清洗設(shè)備保持晶圓的清潔至關(guān)重要。隨著晶圓變得更薄,該工藝需要更復(fù)雜的方法。而克服技術(shù)障礙的方法之一是讓設(shè)備使用超臨界流體狀態(tài)的二氧化碳來(lái)清潔晶圓,與使用其他流體(如超純水)進(jìn)行清潔相比,這可以減少對(duì)晶圓的損壞。
Semes是一家提供從清潔到蝕刻、攝影、測(cè)試和封裝等芯片制造過(guò)程的設(shè)備供貨商,也是全球第一家開(kāi)發(fā)技術(shù)晶圓清洗機(jī)的公司,并獨(dú)家供應(yīng)給三星電子,專門用于內(nèi)存芯片、處理器芯片等制造。三星在Semes擁有超過(guò)90%的股份。