中科光芯宣布對外提供外延片生長服務

  ICC訊 近日，高速率激光器芯片技術提供商福建中科光芯宣布對外提供外延生長服務，以滿足家庭寬帶、電信、數(shù)據通信、光學傳感、激光雷達等領域對光芯片不斷增長的需求。

  外延片是光芯片核心工藝，直接影響激光器和探測器的性能和可靠性。中科光芯外延生長材料覆蓋了常見的III-V族材料銦、鋁、鎵和砷、磷，摻雜源包括了二乙基鋅、二甲基鋅、四溴化碳、乙硅烷等，摻雜濃度介于7E14 ~ 4E19之間可調，產品可以發(fā)射860~2100nm之間的激光。

  中科光芯是國內最早一批從事激光器芯片設計生產的廠家，具有10多年的激光器芯片外延生長經驗，每年激光器發(fā)貨5000多萬只，是全球主要的PON激光器供應商。2022年，中科光芯增加了4臺全新MOCVD設備并部署在中科石獅工廠，設備順利通過試產驗證并進入了量產階段。新MOCVD設備每次可以裝載12片4英寸晶圓，再加上原有的2臺，中科光芯總共擁有了6臺MOCVD設備，使得激光器芯片產能達到了1.8億片/年，產能完全滿足自己的激光器芯片生產需求的同時，還能支持外部科研院所和通信、傳感企業(yè)的需求。

  對比其他公司，中科光芯同時擁有CCS（Closed Coupled Showerhead）MOCVD和G4式MOCVD，適用于客戶的科研試制、定制設計和批量生產。CCS系統(tǒng)Showerhead至Wafer表面僅11~14 mm，便于精準控制氣體參量；同時該系統(tǒng)多為石英部件，對于雜質較好管控。G4式又被稱為Planetary系統(tǒng)，大盤和小盤均快速旋轉，生長出來的wafer的一致性較好；同時G4系統(tǒng)部件多為石墨材料，對于壓低腔內particle數(shù)量很有幫助。

  此外，為了精準監(jiān)控外延生長過程和檢測外延片的質量，中科光芯配置了完備的儀器設備。對于一些重要參數(shù)，公司配備了兩套設備，互相交叉驗證，確保萬無一失。

  中科光芯砥礪前行11載，愿意與行業(yè)友人分享所悟所得；不忘初“芯”，愿與廣大朋友攜手前行，共同推動祖國芯片事業(yè)進步！

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